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介绍了基于高速A/D信号处理方法的系统组成和工作原理,包括对瞄准信号的模拟信号调理、A/D采样、数字信号处理等环节,能够实现2 nm的瞄准分辨率,可用于激光干涉比长仪的动态显微瞄准系统.通过实验验证了方法的可行性,即使在干扰较大的非理想波形信号的情况下也能得到对刻线瞄准的较高的重复性。
一种基于高速A/D的刻线瞄准信号处理方法
【摘 要】
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介绍了基于高速A/D信号处理方法的系统组成和工作原理,包括对瞄准信号的模拟信号调理、A/D采样、数字信号处理等环节,能够实现2 nm的瞄准分辨率,可用于激光干涉比长仪的动态
【机 构】
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中国计量学院计量测试工程学院,浙江杭州310018
【出 处】
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2008年全国几何量精密测量技术学术交流会
【发表日期】
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2008年期
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