【摘 要】
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宇航半导体器件运行在一个复杂的辐射空间环境中,质子是空间中各种射线的主要组成部分,因而质子对半导体器件的辐射效应研究一直受到国内外的关注.本文利用兰州重离子加速器(
【机 构】
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中国科学院近代物理研究所,兰州730000
【出 处】
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第一届全国辐射物理学术交流会(CRPS`2014)
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宇航半导体器件运行在一个复杂的辐射空间环境中,质子是空间中各种射线的主要组成部分,因而质子对半导体器件的辐射效应研究一直受到国内外的关注.本文利用兰州重离子加速器(HIRFL)首次开展质子单粒子效应研究,研究了不同工艺、不同特征尺寸存储器的单粒子效应响应.质子实验结果表明特征尺寸在亚微米和深亚微米的存储器,质子与半导体材料中的原子发生核反应是导致单粒子翻转的主要贡献,而且单粒子翻转截面随入射质子能量变化明显,存在一个发生翻转的能量阈值.
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