超精密模具镀膜中阳极层离子源预处理工艺研究

来源 :第10届中国热处理活动周暨中国热处理技术路线图论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户:menglimengwaiszy
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超精密模具表面镀膜预处理选择合适的离子源清洗预处理参数十分重要,本文探索了不同离子源清洗参数对WC(12%)基片表面粗糙度Ra和表面最大峰谷值PV的影响.结果表明:基片表面粗糙度和表面最大峰谷值的增加量随基片偏压升高呈指数增加;而离子源电压对基片表面粗糙度和表面最大峰谷值影响较弱;研究还表明:采用阳极层离子源电压1350V基片偏压200V预处理后镀膜,膜层表面晶粒细小均匀,表面致密性增加.基片不经离子源清洗处理后镀膜,膜基结合力为7.5 N;基片经离子源750 V和离子源1350V处理后,膜基结合力提高到13N和14.5 N,膜基结合力有较大改善,这种结合力的提高来源于硬质合金中的Co粘结相被溅射,基片表面形成很多空隙,成膜原子与基体间形成钉扎作用.
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用Glecble-1500热力模拟试验机,在变形温度为650~950℃、应变速率0.001~10 s-1,总应变量70%的条件下,对Cu-0.8Cr-0.3Zr合金高温塑性变形过程中的动态再结晶行为及其热加工图进行研究和分析.试验结果表明:Cu-0.8Cr-0.3Zr合合金高温流动应力一应变曲线主要以动态再结晶软化机制为特征,峰值应力随变形温度的降低或应变速率的升高而增加;同时,利用Cu-0.8C
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将Cu-0.4Cr-0.15Zr合金在Gleeble-1500D热模拟试验机上进行了高温等温压缩试验,应变速率和变形温度分别为0.001~10s-1和650~850℃,基于其不同条件下的其真应力-应变曲线,分析了合金的高温塑性变形与动态回复与动态再结晶行为.结果表明:合金的流变应力随应变速率的提高而增大,随变形温度的升高而减小,其高温压缩真应力-应变曲线具有动态回复与动态再结晶特征;从流变应力、应