【摘 要】
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类金刚石涂层(DLC)是一种主要由sp2键和sp3键组成的混合无序的亚稳态的非晶碳膜,分为含氢非晶碳膜(a-C∶H)和无氢非晶碳膜(a-C).具有低摩擦系数、高硬度、高弹性模量、高
【机 构】
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物理科学与技术学院,湛江师范学院,湛江,524048
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类金刚石涂层(DLC)是一种主要由sp2键和sp3键组成的混合无序的亚稳态的非晶碳膜,分为含氢非晶碳膜(a-C∶H)和无氢非晶碳膜(a-C).具有低摩擦系数、高硬度、高弹性模量、高耐磨性和热导率,良好的化学稳定性和抗腐蚀能力等一系列独特的性能.由于类金刚石涂层具有的优越性能,使其在航空航天、机械、生物医学、计算机等领域,具有良好的应用前景.本论文采用多弧离子镀结合磁控溅射技术在高速钢及硬质合金上制备了Cr和Ti掺杂的DLC涂层,并用Raman,SEM,TEM纳米硬度、及高温摩擦实验测试了涂层的机械性能.研究发现：低浓度的金属掺杂(1-3 at.％)可以在保持涂层硬度(25 Gpa)的情况下,大幅度降低内应力(1 Gpa到0.1 Gpa),从而有效提高涂层的结合力和附着性.
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