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要想保证洁净室的质量,必须正确地检测洁净室的有关技术指标。洁净室的最主要技术指标是"洁净度"。洁净度的最主要检测仪器是"尘埃颗粒计数仪"。为了保证尘埃颗粒计数仪的测定数据准确可靠,需要制定尘埃颗粒计数仪的检测法规。
洁净室质量的保证尘埃颗粒计数仪的检测法规
【摘 要】
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要想保证洁净室的质量,必须正确地检测洁净室的有关技术指标。洁净室的最主要技术指标是"洁净度"。洁净度的最主要检测仪器是"尘埃颗粒计数仪"。为了保证尘埃颗粒计数仪的测
【出 处】
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第十届中国国际洁净技术论坛
【发表日期】
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2007年11期
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