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采用多弧离子镀膜设备，选用不同工艺参数，研究了弧电流、氮气分压、负偏压及温度对钛表面镀ＴｉＣＮ黑色膜的影响，得出了最佳的镀膜工艺参数，并分析了镀膜工艺与相结构、表面形貌及颜色的关系。
钛表面镀TiCN黑色膜
【摘 要】
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采用多弧离子镀膜设备，选用不同工艺参数，研究了弧电流、氮气分压、负偏压及温度对钛表面镀ＴｉＣＮ黑色膜的影响，得出了最佳的镀膜工艺参数，并分析了镀膜工艺与相结构、表面形貌及颜色的
【机 构】
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有色金属研究院
【出 处】
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中国金属学会第九届钛及钛合金学术交流会
【发表日期】
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1996年期
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