【摘 要】
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研究了相控阵天线系统使用的MEMS移相器的结构设计以及与耦合馈电相控天线阵的集成方法.根据相移原理和波束扫描原理,提出了移相器传输线的长度计算方法;对悬臂梁结构的MEMS
【机 构】
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北京理工大学机电学院,北京100081
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研究了相控阵天线系统使用的MEMS移相器的结构设计以及与耦合馈电相控天线阵的集成方法.根据相移原理和波束扫描原理,提出了移相器传输线的长度计算方法;对悬臂梁结构的MEMS开关进行设计,总结了优化开关结构的途径;最后给出了MEMS移相器与耦合馈电天线阵的集成方法.提出的制作工艺简单易于实现.结果显示:优化的MEMS开关在25 GHz频率内插入损耗小于0.2dB,隔离度大于-15 dB;移相器在15～20 GHz的频段内阻抗匹配良好,相移特性呈良好的线性变化,相移度数为45°,最大相移误差为±5°.基于此移相器集成的2×2MEMS耦合天线阵在17.3GHz的工作频率下波束可以进行±30°的扫描,最大增益为9.3 dB,满足低成本单片集成相控阵天线的需求.
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