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新型磁控溅射电阻镀膜机是在同一台设备上能制作出中、低和高阻值金属膜电阻的专用设备。文章主要是对它的结构及设计核心部分进行了论述,并将研制中的一些数据和关键部分作以阐明。
新型电阻(金属膜)专用镀膜机的研制
【摘 要】
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新型磁控溅射电阻镀膜机是在同一台设备上能制作出中、低和高阻值金属膜电阻的专用设备。文章主要是对它的结构及设计核心部分进行了论述,并将研制中的一些数据和关键部分作
【机 构】
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锦州航星集团有限公司
【出 处】
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中国真空学会真空技术学术交流会
【发表日期】
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2007年期
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