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用该技术沉积的TiAlN涂层的组织是细纤维状，硬度和涂层中的Ti与Al原子比值有关，Ti/Al=1时的硬度为最高。TiAlNI涂层的抗氧化性能均优于TiC和TiN，涂层中Al的含量越高涂层的抗氧化性能就越好在塑料模具上沉积TiAlN涂层可以提高模具寿命3.3倍。
交流电弧沉积TiAlN涂层性能的研究
【摘 要】
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用该技术沉积的TiAlN涂层的组织是细纤维状，硬度和涂层中的Ti与Al原子比值有关，Ti/Al=1时的硬度为最高。TiAlNI涂层的抗氧化性能均优于TiC和TiN，涂层中Al的含量越高涂层的抗氧化
【机 构】
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西北有色金属研究院
【出 处】
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1999年第二届表面工程国际会议
【发表日期】
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1999年期
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