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采用先进的MEMS工艺制备了各种超微铂电极,研究了超微铂电极在K<,3>Fe(CN)<,6>和磷酸盐缓冲液(PBS)介质中的电化学行为.
基于MEMS的超微铂电极电化学行为研究
【摘 要】
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采用先进的MEMS工艺制备了各种超微铂电极,研究了超微铂电极在KFe(CN)和磷酸盐缓冲液(PBS)介质中的电化学行为.
【机 构】
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传感技术国家重点实验室(北方基地),中国科院院电子学研究所(北京)
【出 处】
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第八届敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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2003年期
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