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该文介绍一个满足纳米级氮化硅生产工艺要求的自动控制系统。该系统使用了工业ＰＣ、ＰＬＣ、智能控制仪等多种处理单元，并借鉴了网络控制系统技术。系统中的各个智能单元通过廉价的４８５总线组网。文中对一些具体设计问题进行了探讨。
纳米级氮化硅生产自动控制系统的研究
【摘 要】
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该文介绍一个满足纳米级氮化硅生产工艺要求的自动控制系统。该系统使用了工业ＰＣ、ＰＬＣ、智能控制仪等多种处理单元，并借鉴了网络控制系统技术。系统中的各个智能单元通过廉价的４８５总线
【机 构】
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工业大学工业自动化研究所
【出 处】
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第九届全国电气自动化、电控系统学术年会
【发表日期】
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1998年期
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