扫描电镜,透射电子显微镜和光学显微镜是目前在实验室中,经常可以看到的设备,也是目前使用最为广泛的三种显微仪器.光学显微镜的诞生使打开了微米世界的大门,可是,光学显微镜的景深小,观察高低不平的断面有困难,而且,其分辨率低,无法在2000倍以上工作.可以观察原子排列的透射电子显微镜早在1933年就诞生了,但是,其样品制作十分困难,不仅直径必须小于3mm,而且,其厚度也必须小于100nm,否则,电子束将无法穿透样品来进行观察.扫描电镜的诞生就是电镜技术的创新成果，分析了从钨灯丝扫描电镜到场发射扫描电镜的发展历程，扫描电镜最显著的特点就是可在低真空条件下进行样品观察。扫描电镜的技术在不断发展中，无论是低加速电压成像技术，各种新型探测器的发明，各种新型电子光学系统的设计，都是在扫描电镜成像原理的基础上的创新工作。令人遗憾的是不断看到外国厂商的推陈出新，而国产扫描电镜技术进步缓慢。期待着国产扫描电镜技术的创新和发展。