基体温度对多弧离子镀TiN涂层的影响

来源 :第十四届全国金相与显微分析学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ArchrSaber
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TiN涂层具有硬度高,耐磨损等优良特性,为了研究基体温度对TiN涂层形貌、相结构及其力学性能的影响,本文采用多弧离子镀技术制备了TiN涂层.研究结果表明:TiN涂层为金黄色,表面形貌及相结构受温度影响不明显,涂层表面有大颗粒存在,涂层为Ti、Ti2N和TiN三相共存结构.膜基结合强度随着温度的升高呈现先上升后下降的趋势,而涂层硬度随温度升高一直升高,300℃后变得缓慢.涂层在300℃时具有最优良的力学性能.
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