AZO透明导电薄膜室温生长及其应用

来源 :第五届届全国氧化锌学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zxwss

【摘要】

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　　氧化锌(ZnO)是一种新型的光电功能半导体材料,室温下禁带宽度3.37eV.通过Ⅲ族元素掺杂,可获得低阻n型ZnO薄膜.A1掺杂ZnO简称为AZO,是一种典型的透明导电氧化物(TCO).AZO

【作者】

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吕建国王钰萍黄继杰王倩叶志镇

【机构】

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浙江大学硅材料国家重点实验室,材料科学与工程学系,杭州310027

【出处】

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第五届届全国氧化锌学术会议

【发表日期】

：

2011年11期

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　　氧化锌(ZnO)是一种新型的光电功能半导体材料,室温下禁带宽度3.37eV.通过Ⅲ族元素掺杂,可获得低阻n型ZnO薄膜.A1掺杂ZnO简称为AZO,是一种典型的透明导电氧化物(TCO).AZO薄膜作为透明电极,可广泛应用于太阳能电池、发光二极管(LED)、显示器件等领域,在节能环保镀膜玻璃、除雾除霜玻璃、柔性器件中也具有很大的应用前景.为实现上述应用,AZO薄膜的室温生长具有重要意义.本文我们对AZO薄膜室温生长及其应用进行了探讨.

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