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为了实现高精度的离焦检测,通过理论研究,确定了基于像散法的检测方式。设计了相应的光学系统,利用仿真软件对设计参数和关系进行了仿真,确定了影响探测精度、灵敏度以及干扰的因素,并设计了光学系统,对实现高精度像散法离焦检测产生指导和实际意义。
像散法离焦检测的光学设计
【摘 要】
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为了实现高精度的离焦检测,通过理论研究,确定了基于像散法的检测方式。设计了相应的光学系统,利用仿真软件对设计参数和关系进行了仿真,确定了影响探测精度、灵敏度以及干扰
【发表日期】
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2013年期
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