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插值拟合法在薄膜表面形态模拟及均匀性分析中的应用研究
插值拟合法在薄膜表面形态模拟及均匀性分析中的应用研究
来源 :2007年中国国际工业博览会科技论坛暨上海市激光学会2007年学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qwertcbt
【摘 要】
:
利用径向基函数网络插值法模拟薄膜表面形态,并利用反距离加权平均插值法研究了薄膜的均匀性与静置时间和提拉速度的关系。结果表明:利用离散点插值拟合法研究光学薄膜表面的起
【作 者】
:
曹鸿
吴永刚
郑秀萍
张莉
付联效
焦宏飞
彭东功
王振华
【机 构】
:
同济大学,精密光学工程技术研究所,上海 200092
【出 处】
:
2007年中国国际工业博览会科技论坛暨上海市激光学会2007年学术年会
【发表日期】
:
2007年期
【关键词】
:
插值法
拟合法
薄膜表面
形态模拟
均匀性分布
表面形态
径向基函数网络
离散点插值
薄膜均匀性
形态特征
提拉速度
静置时间
加权平均
变化规律
光学
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利用径向基函数网络插值法模拟薄膜表面形态,并利用反距离加权平均插值法研究了薄膜的均匀性与静置时间和提拉速度的关系。结果表明:利用离散点插值拟合法研究光学薄膜表面的起伏变化以及均匀性分布,可以比较真实地反映薄膜表面形态特征和薄膜均匀性的变化规律。
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