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在光通信领域,基于MOEMS(micro-opto electro mechanical systems)的光开关由于具有插入损耗和串话小、消光比高、透明性和可扩展性好、易于集成和稳定性好等优点而得到业内人士的推崇.为了进一步提高光开关单元中各个器件之间的对准效果、降低插入损耗,设计了具有凸角补偿的掩膜版图形.基于高新光束的传输特性和本开关单元的多通道及较长的传输距离,对光路传输及耦合部分进行了理论分析和研究.