基于白光扫描干涉术的微表面轮廓探测

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【摘要】

：

<正>白光扫描干涉术是一种利用扫描白光干涉条纹恢复被测件三维形貌的方法。白光干涉信号可以理解为若干单一波长干涉条纹的非相干性叠加,Schwider等人采用衍射光栅分光提取

【作者】

：

韩志刚陈磊王军师丽丽刘晨

【机构】

：

南京理工大学电子工程与光电技术学院; 合肥工业大学;

【发表日期】

：

2010年期

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<正>白光扫描干涉术是一种利用扫描白光干涉条纹恢复被测件三维形貌的方法。白光干涉信号可以理解为若干单一波长干涉条纹的非相干性叠加,Schwider等人采用衍射光栅分光提取单一波长的相位信息,实现表面轮廓的恢复。和传统的移相干涉术一样,单一波长的相位信息具有条纹级次的不确定性。移相干涉术通过比较相邻像素点的相位值展开相位包裹,但这种相位展开技术并不适

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