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本文介绍了粗低真空校准系统的设计、系统组成，采用直接比较法对一支1000Torr电容薄膜真空计进行了校准。
粗低真空校准系统
【摘 要】
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本文介绍了粗低真空校准系统的设计、系统组成，采用直接比较法对一支1000Torr电容薄膜真空计进行了校准。
【机 构】
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兰州空间技术物理研究所 甘肃兰州 730000
【出 处】
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中国真空学会质谱分析和检漏专委会第十六届年会暨中国计量测试学会真空计量专委会第十一届年会
【发表日期】
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2011年期
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