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采用直流磁控反溅射法在不锈钢真空管道内表面均匀镀上一层TiZrV薄膜。该薄膜经过激活后具有抽气效应，能够使真空管道由原来的系统气载转变成为管道泵。该薄膜激活温度很低，最低激活温度为180℃。在经过激活后，实验装置远端的真空度与泵口真空度相同，因此压力分布呈直线型。
真空室内表面镀TiZrV抽气层的性能研究
【摘 要】
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采用直流磁控反溅射法在不锈钢真空管道内表面均匀镀上一层TiZrV薄膜。该薄膜经过激活后具有抽气效应，能够使真空管道由原来的系统气载转变成为管道泵。该薄膜激活温度很低，最低激活温度为180℃。在经过激活后，实验装置远端的真空度与泵口真空度相同，因此压力分布呈直线型。
【机 构】
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中国科学院近代物理研究所 兰州 730000 中国科学院研究生院 北京 100049 中国科学院近
【出 处】
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首届粒子加速器真空、低温技术研讨会
【发表日期】
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2009年7期
其他文献
目的：本研究通过运用臭氧搭配Ti02,在动态下降解室内细菌浓度的效果.方法：在不开启臭氧和Ti02,仅开启臭氧,仅开启Ti02和同时开启臭氧和Ti02四中情况下,在相同状态下采集室内细菌浓度进行比较,每次采集时间间隔15min.结果：在不开启臭氧灯和Ti02时,采集时间25s细菌浓度(CFUs/m3)为24～64;采集时间1min的细菌浓度(CFUs/m3)为37-117;采集时间5min的细菌浓
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