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硅烷化学气相沉积制备多晶硅过程的研究--流化床反应器的模拟与空管反应器的实验
【机 构】
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上海交通大学化学化工学院
【出 处】
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2014第十届中国太阳级硅及光伏发电研讨会
【发表日期】
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2014年期
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