【摘 要】
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atmospheric plasma have recently been utilized for various industrial applications due to the breach of vacuum setting.In this experiment, bare copper elect
【机 构】
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Laboratory of Plasma Physics & Materials Beijing Institute of Graphic Communication Xing Hua North S
【出 处】
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9th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology
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atmospheric plasma have recently been utilized for various industrial applications due to the breach of vacuum setting.In this experiment, bare copper electrode (100mmxl00mmx20mm) driven by radio-frequency power supply at 13.56MHz,which is cooled by water.The space between two electrodes, the flux of gas, the power of radio-frequency etc can be controlled in this setting.It can be used not only in atmospheric-pressure, but also in a vacuum cavum.An additional box which connected with the matching box used to screen the radiation.Discharge characteristics, mode and the spectrum of discharge process have been investigated.
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