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本文阐述了DL-10型石英真空计的研制结果，它用φ2X6型音叉状石英晶振作为压强传感器。该真空计测量范围是10Pa-105Pa，误差约10[％]。石英真空计是应用石英晶振的谐振阻抗与气体压强有关的性能做的真空计。DL-10型石英真空计的振荡电路中的晶振同时也是压强传感器。
DL-10石英型真空计的研制
【摘 要】
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本文阐述了DL-10型石英真空计的研制结果，它用φ2X6型音叉状石英晶振作为压强传感器。该真空计测量范围是10Pa-105Pa，误差约10[％]。石英真空计是应用石英晶振的谐振阻抗与气体压
【机 构】
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北京大学电子学系，北京100871
【出 处】
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2009北京真空学会真空技术交流会
【发表日期】
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2009年10期
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