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会议论文
集成微流量控制系统的研究
集成微流量控制系统的研究
来源 :第六届全国敏感元件与传感器学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:amwaydog
【摘 要】
:
将微流量控制器件与微流量传感器以及相关的信号处理和控制电路相结合的微型化、集成化的微流量控制系统,已经成为MEMS研究的热点之一。
【作 者】
:
庞江涛
刘理天
李志坚
【机 构】
:
清华大学微电子研究所(北京)
【出 处】
:
第六届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
:
1999年期
【关键词】
:
集成化
微流量控制系统
微流量控制器件
微流量传感器
信号处理
控制电路
微型化
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将微流量控制器件与微流量传感器以及相关的信号处理和控制电路相结合的微型化、集成化的微流量控制系统,已经成为MEMS研究的热点之一。
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