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半导体器件与工艺综合的研究
半导体器件与工艺综合的研究
来源 :第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:frog1266
【摘 要】
:
综合技术作为一项重要的研究方法,不仅在电路设计中获得广泛应用,现在应用在器件和工艺的研究上.利用器件与工艺综合的思想,可以开发出自顶向下的新的器件和工艺设计方法.为了实现这种设计方法,我们开发了MOSPAD软件,并利用MOSPAD系统做出一定的综合结果.
【作 者】
:
鲁勇
谢晓峰
张文俊
杨之廉
【机 构】
:
清华大学微电子所(北京)
【出 处】
:
第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议
【发表日期】
:
2001年6期
【关键词】
:
半导体器件
工艺设计
设计方法
综合软件
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综合技术作为一项重要的研究方法,不仅在电路设计中获得广泛应用,现在应用在器件和工艺的研究上.利用器件与工艺综合的思想,可以开发出自顶向下的新的器件和工艺设计方法.为了实现这种设计方法,我们开发了MOSPAD软件,并利用MOSPAD系统做出一定的综合结果.
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