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干冰微粒喷射清洗作为一种新型的精密清洗技术,具有清洗效果好、不使用水和化学药品、不会引入二次污染、无毒、对人体无害等优点,在硅单晶基片、真空设备零件和红外光学望远镜等物体的表面清洗方面取得了良好的成果。介绍了干冰微粒喷射清洗法的清洗机理、研究现状及存在的问题,并对其应用前景做了展望。
干冰微粒喷射清洗技术的研究进展
【摘 要】
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干冰微粒喷射清洗作为一种新型的精密清洗技术,具有清洗效果好、不使用水和化学药品、不会引入二次污染、无毒、对人体无害等优点,在硅单晶基片、真空设备零件和红外光学望远
【机 构】
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电子科技大学光电信息学院;
【发表日期】
：
2004年期
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