【摘 要】
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纳米多层膜复合材料是由两种或两种以上不同物理、化学性质的组元以微观或宏观形式复合而成的，且至少有一相的一个维度小于100nm的多相材料1.研究发现，纳米多层膜具有高硬度/强度、良好热稳定性以及优异的抗辐射性等诸多优点，并且这些优点已被证明同，但亚层厚度如何影响纳米多层膜的界面匹配方式和变形机制尚不明确.为探明此尺寸效应，研究者们制备了一系列不同亚层厚度的纳米多层膜，制备方法包括磁控溅射法和累积叠轧
【机 构】
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北京工业大学固体微结构与性能北京市重点实验室,北京 100124 北京工业大学固体微结构与性能北京
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纳米多层膜复合材料是由两种或两种以上不同物理、化学性质的组元以微观或宏观形式复合而成的，且至少有一相的一个维度小于100nm的多相材料1.研究发现，纳米多层膜具有高硬度/强度、良好热稳定性以及优异的抗辐射性等诸多优点，并且这些优点已被证明同，但亚层厚度如何影响纳米多层膜的界面匹配方式和变形机制尚不明确.为探明此尺寸效应，研究者们制备了一系列不同亚层厚度的纳米多层膜，制备方法包括磁控溅射法和累积叠轧法.磁控溅射法2：将高纯靶材放置在不同的阴极上，通过转动基台使靶材原子轮流溅射到基片上，通过控制溅射时间来精确控制多层膜的调制周期、调制比.但此方法存在设备昂贵、制作周期长、不易大面积制备等缺点，难以适用于大规模工业生产；累积叠轧法3：将金属板材相互叠加并轧制，之后剪裁、叠加重复轧制，如此累积可制备纳米纳米级的金属多层膜，这种简单的机械加工方法可使纳米多层膜的进行大规模工业化生产.但目前的轧制工艺难以实现对多层膜的调制周期、调制比以及晶粒尺寸的精确控制.
其他文献
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