【摘 要】
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本文设计了一种用于CMOS集成温度传感器二次非线性项修正的曲率校正电路,该电路有效解决了CMOS温度传感电路中电阻温度系数和PN结电压二次非线性项对输出线性度的影响.分析了该曲率校正电路的理论原理,提出了相应的电路实现方法,仿真结果表明校正前后温度误差下降了0.5℃.应用了该校正电路的CMOS温度传感系统已在0.6μm标准CMOS工艺中研制实现,实验结果表明在-20℃～+120℃的温度范围内该温度
【机 构】
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厦门大学,物理系;厦门大学,萨本栋微机电研究中心,厦门,361005 厦门大学,萨本栋微机电研究中
【出 处】
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第九届全国敏感元件与传感器学术会议
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本文设计了一种用于CMOS集成温度传感器二次非线性项修正的曲率校正电路,该电路有效解决了CMOS温度传感电路中电阻温度系数和PN结电压二次非线性项对输出线性度的影响.分析了该曲率校正电路的理论原理,提出了相应的电路实现方法,仿真结果表明校正前后温度误差下降了0.5℃.应用了该校正电路的CMOS温度传感系统已在0.6μm标准CMOS工艺中研制实现,实验结果表明在-20℃～+120℃的温度范围内该温度传感系统的最大误差小于1.5℃.
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