【摘 要】
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用阴极恒电流沉积法制备SnS薄膜。研究了溶液的pH值、离子浓度比、电流密度等电沉积参数对薄膜组分的影响,得出制备SnS薄膜的比较理想的工艺条件为:pH=2.7,Sn2+:S2O3=1:5,J=3
【机 构】
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福州大学化学系; 福州大学电子科学与应用物理系;
【基金项目】
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福建省教育厅项目(JA03009);福州大学博士后基金项目(XJBH-0201);人才基金项目(XJBH-0202)
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用阴极恒电流沉积法制备SnS薄膜。研究了溶液的pH值、离子浓度比、电流密度等电沉积参数对薄膜组分的影响,得出制备SnS薄膜的比较理想的工艺条件为:pH=2.7,Sn2+:S2O3=1:5,J=3.0mA·cm-2,t=1.5h.。制备出了成分为Sn0.995S1.005的膜层,并用扫描2-电镜观察了该薄膜的表面形貌,用X射线衍射分析了其物相结构,表明它是具有正交结构的SnS多晶薄膜,晶粒大小不一,在200nm~1000nm之间。用阴极恒电流沉积法制备SnS薄膜。研究了溶液的pH值、离子浓度比、电流密度等电沉积参数对薄膜组分的影响,得出制备SnS薄膜的比较理想的工艺条件为:pH=2.7,Sn2+:S2O3=1:5,J=3.0mA·cm-2,t=1.5h.。制备出了成分为Sn0.995S1.005的膜层,并用扫描2-电镜观察了该薄膜的表面形貌,用X射线衍射分析了其物相结构,表明它是具有正交结构的SnS多晶薄膜,晶粒大小不一,在200nm~1000nm之间。
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