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本文主要介绍了一种新型的Marx发生器,该发生器采用真空绝缘模块化设计,其回路电感约为300nH.这使得Marx发生器输出的高压脉冲不需经传统的脉冲形成线进行脉宽压缩而直接作用于真空二极管,产生脉宽(FWHM)0.5μs、500kV、80kA的相对论电子束.用该电子束泵浦XeCl准分子激光器,获得约100J的激光输出.这种Marx发生器的电压传输效率约为72％,能量传输效率约为53％.