介质保护层对镀金反射光栅抗激光损伤能力的影响

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文章针对镀金反射光栅损伤阈值低的问题,提出在镀金光栅上沉积一层介质膜作为保护层。在镀金光栅衍射效率降低程度可接受的前提条件下,确定了保护层厚度范围。同时,基于光栅的电磁场分布,计算了采用不同厚度的二氧化硅和二氧化铪作为保护层时,光栅中的电磁场、温度场和应力场分布情况,重点分析了光栅表面的温度和应力分布情况。结果表明,添加保护层改变了光栅中电磁场、温度场和应力场分布,合适厚度保护膜可以起到提高光栅抗激光损伤能力的作用。
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