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三氟碘甲烷(CF3I)和氮气(He)混合气体脉冲放电等离子体模拟研究
【机 构】
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大连理工大学物理与光电工程学院,三束材料改性教育部重点实验室,大连 116023
【出 处】
：
第十五届全国等离子体科学技术会议
【发表日期】
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2011年期
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