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MEMS惯性仪表具有体积小、可批量生产、成本低等优点。随着相关技术发展,MEMS惯性仪表在多个领域得到了广泛应用。本文介绍了MEMS陀螺仪、MEMS加速度计以及MEMS惯性仪表工艺技术的发展现状,并对MEMS惯性仪表的发展前景做了展望。
MEMS惯性仪表发展趋势
【摘 要】
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MEMS惯性仪表具有体积小、可批量生产、成本低等优点。随着相关技术发展,MEMS惯性仪表在多个领域得到了广泛应用。本文介绍了MEMS陀螺仪、MEMS加速度计以及MEMS惯性仪表工艺
【机 构】
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北京航天控制仪器研究所;
【发表日期】
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2004年期
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