电弧沉积ZrN涂层影响因素分析

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采用多弧离子镀技术在Si片和不锈钢基体上沉积制备了ZrN涂层。采用正交实验分析了工艺参数对涂层硬度的影响。结果发现基体偏压是最显著影响因素。分析认为,偏压的作用原理可能是细晶强化、残余压应力、固溶强化以及涂层出现硬择优取向。同时分析了温度、氮气流量、真空室真空度以及试片与靶材的相对位相对涂层硬度的影响。
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