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本文分析了棕化工艺参数对微蚀速率、表面形貌、表面微观粗糙度、结合力的影响。从原理上阐述了棕化各化学组分及操作条件的控制对内层品质的重要性。结果表明：微蚀速率是棕化过程的关键因素，影响到表面形貌、表面微观粗糙度、棕化膜化学结合力的状况，而微蚀速率主要为双氧水浓度和温度的函数，必须控制它们在合适的范围使微蚀速率保持在1.2-1.6um/min之间。