酞菁镍薄膜型NO2气体传感器的制备与性能研究

来源 :第十七届全国半导体物理学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yangjie871202
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酞菁最初是由Braun和Tchemiac于1907发现。酞菁是一个大环化合物,环内有一个空穴,空穴的直径约为2.7x10-8cm,可以容纳多种金属和非金属元素。酞菁环本身是一个具有18个7π电子的大π体系,在此体系中,18个电子分别位于内环C-N位,在红光区,酞菁具有强烈的吸收,其固态颜色依据中心原子、晶粒、颗粒大小不同,可在深蓝色到绿色之间变化。本文主要采用酞菁镍薄膜材料制作了气体传感器,对酞箐材料敏感机理、气敏特性等方面内容做了相关研究。
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