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为了将日渐成熟的微小型MEMS陀螺仪有效应用在惯性技术领域,本文分析了MEMS陀螺仪发展背景,综述了国外MEMS陀螺仪发展状况,分析了国内MEMS陀螺仪研究情况.最后,提出了当前可供应用的三种MEMS陀螺仪,包括平面音又式硅微MEMS陀螺仪、振环式硅微MeMs陀螺仪、石英MEMS微陀螺仪，并详细分析了其特点和性能.