CF4等离子体处理对氧化锌纳米线电学及场发射特性的影响

来源 :中国电子学会真空电子学分会第二十届学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xiansong2001

【摘要】

：

本文研究CF4等离子体处理对氧化锌纳米线的电学特性和场发射特性的影响.X射线光电子能谱(XPS)结果显示处理后样品实现了F掺杂.利用原位纳米探针对单根纳米线的电学及场发射特

【作者】

：

宋晓萌陈毅聪张志鹏余峻聪邓少芝许宁生陈军

【机构】

：

光电材料与技术国家重点实验室,广东省显示材料与技术重点实验室,中山大学电子与信息工程学院,中国广州,510275

【出处】

：

中国电子学会真空电子学分会第二十届学术年会

【发表日期】

：

2016年期

【关键词】

：

等离子体处理氧化锌纳米线电学特性场发射特性载流子浓度光电子能谱单根纳米线显示处理

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本文研究CF4等离子体处理对氧化锌纳米线的电学特性和场发射特性的影响.X射线光电子能谱(XPS)结果显示处理后样品实现了F掺杂.利用原位纳米探针对单根纳米线的电学及场发射特性进行了表征,发现处理后纳米线的电阻减小,而场发射开启电场增大,其原因主要是由于F掺杂增加了载流子浓度,造成场发射时场渗透效应减小.

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