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本文介绍了一种基于定压流量法的低温泵性能测试方法.由于国内外尚无统一的测试标准,所以该低温泵的性能测试方法参考了分子泵等的性能测试方法,制定了标准的性能测试装置.文中主要论述了其性能测试方法及基于CP1OOOLN2低温泵的性能测试复验.
基于定压法的低温泵性能测试与分析
【摘 要】
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本文介绍了一种基于定压流量法的低温泵性能测试方法.由于国内外尚无统一的测试标准,所以该低温泵的性能测试方法参考了分子泵等的性能测试方法,制定了标准的性能测试装置.文
【机 构】
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安徽万瑞冷电科技有限公司合肥230088中国电子科技集团公司第十六研究所合肥230043
【出 处】
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“方园杯”安徽省第二届真空科技青年创新大赛暨学术研讨会
【发表日期】
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2012年11期
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