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本文建立了一种采用抑制型电导检测器离子色谱法测定半导体废水中的四甲基铵根离子（TMAOH）的方法。以2.3％TMAOH 溶液为对照溶液，废水样品含量测定结果为0.46％。仪器色谱条件为：IonPac CS12A分析柱，250×4mm；抑制器类型及工作方式：CSRS300 4-mm，59mA；淋洗液组成及流速：20mm甲烷磺酸，等度淋洗，流速1.0mL/min；进样体积：25μL。该方法灵敏度高，选择性好，操作简单，分析快，成本低。