与标准CMOS工艺兼容的ISFET建模与仿真

来源 :中国电子学会电路与系统学会第十九届年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sdwhliyang
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本文介绍了一种用于监测水污染的离子传感器的理论模型,监测水中污染离子的微系统包括两个部分,一是将化学信号变成电信号的离子敏感传感器,另一部分是对电信号进行处理.我们对离子敏感传感器(ISFET)的理论模型进行了研究,使用HSPICE对其进行仿真,并与实际的测量结果进行了比较,比较结果显示我们的理论模型与实验曲线基本相符.
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