论文部分内容阅读
硅电容微差压传感器是采用先进的微机械加工(MEMS)技术和工艺,以扩散硅压力传感器的工艺为基础,创新设计和工艺路线研制的一种新型差压传感器,用于工业现场压力、流量等的测量.而过载误差是微差压传感器的重要技术性能参数之一,该参数的优劣直接影响到传感器的后续测量精度.本文简要介绍了硅电容微差压传感器过载误差的设计方法及影响过载误差的因素.从结构设计、原材料的性能参数选择、工艺制作等方面阐述了提高过载误差的设计方法,给出了采用该设计方法研制出样机的测试结果。