切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
会议论文
磁控靶材料对极低气压下RF-UBM金属等离子体特性的影响
磁控靶材料对极低气压下RF-UBM金属等离子体特性的影响
来源 :上海市真空学会第八届学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:uestchujun
【摘 要】
:
本文采用朗缪尔探头法和台阶仪法相结合对射频增强非平衡磁控溅射(RF-UBM)产生的金属等离子体的特性进行了测定,主要测量了不同靶材下金属粒子的沉积速率和金属等离子体
【作 者】
:
于伟东
柳襄怀
王曦
【机 构】
:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所,200050
【出 处】
:
上海市真空学会第八届学术年会
【发表日期】
:
2002年期
【关键词】
:
磁控溅射
靶材料
低气压
金属等离子体
特性
金属粒子
沉积速率
台阶仪
离化率
朗缪尔
非平衡
点参数
增强
探头
射频
临界
测量
测定
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
本文采用朗缪尔探头法和台阶仪法相结合对射频增强非平衡磁控溅射(RF-UBM)产生的金属等离子体的特性进行了测定,主要测量了不同靶材下金属粒子的沉积速率和金属等离子体的离化率.并讨论了对临界起辉点参数的影响。
其他文献
溶胶法低温制备光催化纳米二氧化钛薄膜
本文介绍了用溶胶法在低温条件下在玻璃表面制备光催化纳米二氧化钛薄膜,给出了初步实验结果,并对今后的发展进行了讨论。
会议
溶胶法
低温制备
光催化
纳米二氧化钛薄膜
低温条件下
表面制备
实验
玻璃
锐钛矿型TiO2胶体制备杀菌陶瓷的特性研究
本文利用锐钛矿晶型的纳米TiO2胶体溶液,将硅胶作为粘结剂按不同配比加入TiO2胶体,用提拉法在陶瓷表面形成均匀薄膜并在高温下烘烤成膜.研究不同硅胶和TiO2比例情况下薄
会议
机械性质微探针-测试硬质膜硬度与弹性模量的新方法
本文介绍一种被称为材料机械性质微探针的新型的纳米微压痕仪,藉助于加荷-卸荷过程中压痕对负荷和压入深度,即压头位移的敏感关系,测试材料的硬度及弹性模量等力学性质.
会议
<碳氮化钛多层复合弧光离子镀膜的工艺研究>
本文针对多层膜之间的结合力和应力进行了分析;剖析了多层膜各层膜厚的组合设计现在除了TIN和TICN交替镀层之外,还有性能更优良的三种或四种以上的不同膜层的交替镀层,列
会议
碳氮化钛
多层复合
弧光
离子镀膜
交替镀层
膜层
多层膜
类金刚石膜
组合设计
硬膜
复合镀层
结合力
功能膜
应力
性能
软膜
剖析
膜厚
化合
超硬
新型膜厚仪的研制与应用
本文在介绍新型石英晶体膜厚监控仪的基础上,重点介绍仪器的软硬件组成,以及对仪器的精度、易操作性和重复一致性的分析。
会议
膜厚仪
膜厚监控仪
硬件组成
仪器
石英晶体
一致性
操作性
精度
基础
真空镀膜技术在航天推进剂贮箱中的应用
本文从航天推进剂贮箱存在的问题出发,系统分析了液体推进剂对材料的腐蚀和渗漏规律,提出了采用真空镀膜技术进行金属和非金属材料复合的方案解决囊材料对推进剂的渗透问
会议
真空镀膜技术
航天
推进剂贮箱
材料复合
液体推进剂
系统分析
渗透问题
非金属
方案解决
渗漏
规律
腐蚀
非酒精性脂肪性肝硬化的研究进展
随着肥胖和代谢综合征发病率的升高,非酒精性脂肪性肝病(NAFLD)已成为全世界范围内常见的慢性肝病,是导致肝硬化的主要原因之一。肝硬化可导致患者肝功能急剧恶化,与患者病死率
期刊
非酒精性脂肪肝病
肝硬化
流行病学
危险因素
临床特点
诊断
治疗
综述
遗传算法用于四极扩展场透镜的最优化设计
本文介绍了遗传算法(GeneticAlgorithm)在电子光学系统的最优化设计当中的运用.根据"适者生存"和"优胜劣汰"的原则,借助"复制"、"交换"、"突变"等操作可以得到全局最优解
会议
空间红外探测器杜瓦研制的关键技术
本文简要介绍了国内航天用机械制冷系统的发展情况,并着重介绍了在海洋一号卫星红外机械制冷系统研制中遇到的一些关键的问题,最终落实到对真空杜瓦的研究上,并结合实际
会议
空间
红外探测器
真空杜瓦
机械制冷系统
海洋一号卫星
系统研制
实验研究
性能
寿命
航天
国内
纳米科技现状及前景
本文介绍了碳纳米管这种性能优异的新型功能材料和结构材料,作为纳米科技的一项重要应用世界各国均在制备和应用方面投入大量的研究开发力量,期望能占领该技术领域的制高
会议
纳米科技
应用
碳纳米管
世界各国
生活方式
社会活动
结构材料
技术领域
功能材料
制高点
占领
性能
生产
开发
与本文相关的学术论文