基于MUSIC的硅单晶棒轮廓检测方法

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为提高直拉硅单晶生长过程中检测硅单晶轮廓的精度和速度,本文提出了一种基于多重信号分类(multiple signal classification, MUSIC)算法的直线检测方法。首先将二维图像转化成虚拟传感器阵列的单快拍阵列信号,然后构造单快拍远场模型,将直线的倾斜角估计问题转换为搜索虚拟输入源波达方向的问题,从而获得直线倾斜角的估计值。最后构造单快拍近场模型,计算已获得的直线倾斜角对应的偏移量估计值,从而确定直线的参数。仿真和工程实验结果表明,本文所提方法能够准确、快速的检测直线的倾斜角和偏移量,优于现有方法。
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