共聚焦X射线荧光分析方法是三维微区X射线荧光分析技术的最新进展，其独有的深度扫描技术能够无损探测样品不同深度处的元素分布情况，在古文物、生物等研究领域有很好的应用前景。目前国际上多家研究单位在同步辐射装置和普通实验室X光源上搭建了三维共聚焦X射线荧光谱仪，北师大核科学与技术学院X光室利用Mo靶微焦斑光源研制了一台便携式三维共聚焦X射线荧光谱仪，该谱仪是以微焦斑光源前加会聚透镜和探测器前加半透镜构成的双透镜共聚焦系统。青瓷是我国古代最主要的瓷器品种，分为表面釉层和内部胎体两部分。为了研究青瓷釉层、胎体含有的元素情况，人们通常采用截面测量方法，这种方法需要破坏样品，取其截面进行扫描分析。共聚焦荧光谱仪最大的优点就是能够对样品进行无损的深度分析，所以对于层厚合适的样品，可以采集青瓷样品中不同深度层的荧光谱图来分析元素分布情况，实现真正的无损测量。本文使用共聚焦荧光谱仪分别对青瓷的截面和青瓷的深度进行了分析，并对结果进行了比较。