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采用微注射成形工艺制得了直径分别为130 μm和110 μm,高度均为250 μm的微圆柱阵列。
实验发现工艺参数不当时,微圆柱会出现填充不足、表面粗糙、烧蚀、中空等缺陷,而抽真空是避免上述缺陷的重要手段。实验表明,对于带有微型盲孔结构的模具注射前抽真空是必需的。当模具温度在90℃,注射压力为100MPa,保压3秒,模具抽真空的情况下,微型圆柱可以得到完全的填充,且没有以上缺陷。