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ＰｔＳｉ／Ｓｉ和Ｐｔ／Ｓｉ结构中磷注入形成Ｎ＃+[+]Ｐ结
【机 构】
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复旦大学
【出 处】
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第四届全国固体薄膜学术会议
【发表日期】
：
1994年期
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