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长波(8—14um)红外焦平面器件用MoCVDHgCdTe薄膜材料的制备
长波(8—14um)红外焦平面器件用MoCVDHgCdTe薄膜材料的制备
来源 :全国化合物半导体、微波器件和光电器件学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mutaozhang
【摘 要】
:
该文在细致分析研制HgcdTe红外焦平面器件如何对晶体材料参数进行选取与控制的基础上,对MoCVD技术生长HgCdTe薄膜材料的技术路线、工艺参数控制、热处理过程等有关内容进行了
【作 者】
:
俞振中
马可军
【机 构】
:
院上海技术物理研究所
【出 处】
:
全国化合物半导体、微波器件和光电器件学术会议
【发表日期】
:
1998年期
【关键词】
:
长波
红外焦平面器件
薄膜材料
热处理过程
研制情况
参数控制
技术生长
技术路线
材料参数
选取
性能
晶体
基础
工艺
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该文在细致分析研制HgcdTe红外焦平面器件如何对晶体材料参数进行选取与控制的基础上,对MoCVD技术生长HgCdTe薄膜材料的技术路线、工艺参数控制、热处理过程等有关内容进行了阐述。文章最后对作者所生长的MoCVD-HgCDTe薄膜材料的性能与器件研制情况进行了介绍。
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