【摘 要】
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在Ti合金上溅射沉积含2.7～12.3 at.％Ti的a-CNx薄膜。含钛2.7 at.％ Ti的a-CNx薄膜显徽结构呈不稳定的非晶组织,而含钛12.3 at.％Ti的薄膜呈纳米复合结构。随着薄膜中钛含量的增加,T
【机 构】
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中国电子科技集团第三十八研究所安徽合肥230031
【出 处】
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安徽省腐蚀与防护学会表面处理专业2011学术年会
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在Ti合金上溅射沉积含2.7～12.3 at.％Ti的a-CNx薄膜。含钛2.7 at.％ Ti的a-CNx薄膜显徽结构呈不稳定的非晶组织,而含钛12.3 at.％Ti的薄膜呈纳米复合结构。随着薄膜中钛含量的增加,Ti掺杂物的引入并与碳氮成键,倾向于替代sp3键以减少键角变形,sp2键的含量也逐渐增加。含钛非晶碳氮薄膜的硬度随Ti含量的增大而增加,在12.3 at.％ Ti时达到28.4 GPa.薄膜的摩擦系数在0.11～0.14之间,比纯a-CNx薄膜低。在Troydes模拟体液中电化学腐蚀测试表明含钛较小的a-CNx薄膜具有有效的抗腐蚀作用。
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