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阻抗匹配法是研究激光加载状态方程的重要方法，该方法只需要测量冲击波在标准台阶和样品台阶中传播的速度，减少了实验中不确定因素。台阶厚度作为初始参数用于计算实验中冲击波速度，需要精确测量。为了得到高精度的状态方程数据，对标准台阶和样品台阶的厚度、厚度一致性、粗糙度等有严格要求。Mo是理想的标准材料，但硬度高、应力大等特点使得对其进行精密加工及测量非常困难。本文介绍了一种状态方程靶用Mo台阶的制备与测量、表征方法。